진공 플라즈마 챔버 – 현대 산업 생산을 위한 정밀 표면 처리 솔루션
전자, 반도체, 의료 및 첨단 소재 산업에서 표면 세정은 제품의 품질과 신뢰성을 결정짓는 핵심 공정입니다. 특히 열에 민감한 재료를 정밀하게 처리해야 할 때, 진공 플라즈마 챔버는 소재의 변형 없이 오염 물질을 완벽히 제거하고 표면 활성화를 극대화하는 최고의 기술적 선택입니다.
1. 진공 플라즈마 세정 장비 소개
진공 플라즈마 챔버는 진공 챔버 내부에서 산소(O2) 플라즈마를 발생시켜 재료 표면의 유기 불순물, 미세 먼지, 기름때 및 오염물을 분자 단위에서 제거하는 고도화된 시스템입니다. 압력과 플라즈마 에너지를 정밀하게 제어함으로써 소재에 물리적 손상이나 부식 없이 균일한 세정 효과를 제공합니다.
이 장비는 접착, 코팅, 회로 인쇄 및 전자 부품 조립 전 공정의 필수적인 전처리 과정으로 널리 사용됩니다.
2. 시스템 기술 사양
생산 공정의 최적화를 위해 당사의 진공 플라즈마 챔버는 다음과 같은 표준 사양을 갖추고 있습니다:
| 항목 | 상세 사양 |
|---|---|
| 외형 치수 | 760W × 1435H × 757D (mm) |
| 챔버 용량 | 310W × 320H × 330D (mm) / 30L |
| 플라즈마 RF 전원 | 13.56 MHz (300W) |
| 제어 방식 | PLC + HMI 터치스크린 (50개 공정 레시피) |
| 유량 제어 | 고정밀 MFC (0 ~ 300 ml/min) |
3. 탁월한 유기 불순물 제거 성능
진공 플라즈마 세정 장비는 일반적인 화학 세정 방식으로는 제거하기 어려운 미세한 오염원을 효과적으로 제거합니다:
- 기름때 및 가공유: 기계 가공 후 잔류하는 윤활유 및 가공유를 완벽 제거합니다.
- 플럭스(Flux) 잔류물: PCB 조립 후 남은 품질 저해 요소를 완벽히 세정합니다.
- 감광액(Photoresist) 잔여물: 반도체 및 미세 회로 공정의 고도화된 세정을 수행합니다.
- 이형제(Mold Release): 플라스틱 성형 시 bám dính된 실리콘 및 왁스 성분을 제거하여 후속 접착/도장 품질을 향상시킵니다.
4. 진공 플라즈마 세정 장비 도입 권장 사항
다음과 같은 공정 환경에서 진공 플라즈마 세정 장비는 최상의 선택이 될 것입니다:
- 열에 민감한 소재 처리: PE, PP 등 필름 소재나 전자 부품처럼 고온 처리가 불가능한 경우.
- 초정밀 소형 부품: 틈새가 좁고 구조가 복잡하여 물리적 세정이 불가능한 부품.
- 초고접착력 요구: 이나 정밀 인쇄 전 확실한 표면 활성화가 필요한 경우.
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