1. Máy phun phủ plasma chân không là gì?

Máy phun phủ plasma chân không là thiết bị ứng dụng plasma tạo ra trong môi trường chân không để làm sạch, kích hoạt hoặc phủ lớp màng mỏng trên bề mặt vật liệu. Công nghệ này giúp loại bỏ tạp chất hữu cơ, tăng cường khả năng bám dính và cải thiện tính chất cơ – lý – hóa của sản phẩm.

Không chỉ dừng lại ở việc xử lý, thiết bị còn cho phép phủ lớp nano đồng đều, bền chắc, mang lại khả năng chống thấm, kháng khuẩn hoặc tăng độ cứng bề mặt theo yêu cầu.

2. Thông số kỹ thuật máy phun phủ plasma chân không.

Hạng mục	Thông số kỹ thuật	Hạng mục	Thông số kỹ thuật
Kích thước tổng thể	760W1435H757D (mm)	Dung tích buồng xử lý	310W320H330D (mm) / 30L
Kích thước xử lý hiệu quả	250W*260D (mm)	Số lớp xử lý hiệu quả	1 ~ 5 lớp (mặc định 3 lớp)
Nguồn điện chính	380V (±10%) (AC) 50Hz~60Hz	Nguồn đèn cực tím	Bức xạ 13.56MHz (300W)
Hệ thống chân không	Bơm cánh quay trực tiếp hai cấp	Phương thức điều khiển	PLC + Màn hình cảm ứng HMI (lưu trữ 50 nhóm), điều khiển tự động & thủ công (có thể chuyển đổi)
Hệ thống lưu thông khí	Quạt hút ly tâm áp suất cao (0~300m³/min)	Khí sử dụng	1 đường tiêu chuẩn (O₂, N₂, Ar, CF₄)
Độ chân không làm việc	10⁻¹ ~ 50 Pa	Công suất thiết bị	≤ 2KW
Áp suất đầu vào khí	O₂, N₂, Ar, CF₄: 0.4~0.5MPa	Chế độ làm sạch	Làm sạch bằng plasma
	Khí tinh khiết (≥99.99%): 0.3~0.4MPa	Thời gian làm sạch	Một lần ≤ 5 phút (bao gồm hút chân không + xử lý plasma).
	Khí điều khiển: 0.3~0.4MPa	Thời gian cụ thể theo sản phẩm khách hàng
	Bình khí nén (áp suất khởi động): 20.4MPa

3. Nguyên lý hoạt động của máy phun phủ plasma chân không

Nguyên lý hoạt động của máy dựa trên việc tạo plasma trong môi trường chân không bằng năng lượng cao (từ nguồn RF hoặc vi sóng). Các bước chính bao gồm:

• Tạo môi trường chân không: Hệ thống bơm hút loại bỏ không khí và tạp chất trong buồng xử lý, tạo điều kiện tối ưu để hình thành plasma tinh khiết.
• Kích hoạt plasma: Khí trơ hoặc khí hoạt tính (argon, oxy, nitrogen…) được đưa vào buồng chân không. Khi được kích hoạt bằng nguồn năng lượng cao, khí này chuyển sang trạng thái plasma.
• Tác động lên bề mặt vật liệu: Các ion, electron, tia tử ngoại và gốc tự do trong plasma tương tác với bề mặt, phá vỡ liên kết tạp chất hữu cơ, đồng thời làm biến đổi cấu trúc hóa học để tăng độ hoạt hóa.
• Phủ lớp màng mỏng (nếu cần): Thông qua khí phản ứng hoặc hợp chất hữu cơ, lớp phủ nano sẽ bám chắc lên bề mặt vật liệu, tạo ra các đặc tính mới như chống oxy hóa, chống ẩm, chống mài mòn.

4. Điểm khác biệt giữa máy xử lý plasma dạng chân không và máy plasma thông thường

• Môi trường hoạt động:
  • Plasma thông thường hoạt động ở áp suất khí quyển, dễ bị ảnh hưởng bởi không khí và độ ẩm.
  • Plasma chân không hoạt động trong môi trường kín, ổn định, giúp quá trình xử lý đồng đều và tinh khiết hơn.
• Hiệu quả xử lý:
  • Plasma khí quyển phù hợp với xử lý bề mặt nhanh, diện tích lớn nhưng độ bám dính không cao.
  • Plasma chân không tạo ra lớp phủ nano bền chắc, có khả năng thay đổi tính chất hóa học bề mặt, tối ưu cho sản phẩm yêu cầu khắt khe.
• Ứng dụng:
  • Plasma thường được dùng trong xử lý đơn giản như làm sạch, tăng bám mực in trên màng film.
  • Plasma chân không được ứng dụng trong ngành điện tử, y tế, ô tô, hàng không… nơi yêu cầu độ chính xác và chất lượng bề mặt cao.
• Chi phí đầu tư:
  • Máy plasma khí quyển có chi phí đầu tư thấp hơn.
  • Máy phun phủ plasma chân không đòi hỏi vốn đầu tư cao hơn nhưng mang lại hiệu quả dài hạn và bền vững.

5. Ưu điểm vượt trội của máy phun phủ plasma chân không

• Xử lý bề mặt nhanh, sạch, an toàn, không gây hư hại vật liệu.
• Tạo lớp phủ nano đồng đều, bền chắc, cải thiện đáng kể độ bám dính.
• Không cần sử dụng hóa chất độc hại, thân thiện môi trường.
• Linh hoạt với nhiều loại vật liệu: nhựa, kim loại, thủy tinh, cao su, linh kiện điện tử.
• Đáp ứng tiêu chuẩn sản xuất quốc tế, hỗ trợ doanh nghiệp nâng cao uy tín thương hiệu.

6. Ứng dụng của máy xử lý bề mặt plasma chân không

• Điện tử: Làm sạch và tăng độ bám dính cho linh kiện bán dẫn, bảng mạch in.

• Ô tô: Xử lý linh kiện trước khi sơn hoặc phủ lớp bảo vệ, nâng cao khả năng chống oxy hóa.
• Y tế: Phủ lớp kháng khuẩn, đảm bảo an toàn sinh học cho thiết bị y tế.
• Bao bì thực phẩm: Tăng khả năng in ấn và chống thấm khí trên màng film, nâng cao chất lượng bảo quản.
• Ngành nhựa – cao su: Cải thiện độ bám dính cho sơn, mực in, keo dán.